從結(jié)構(gòu)看，現(xiàn)有的蝕刻機(jī)與近年最新推出的蝕刻機(jī)器比較，從蝕刻單元來(lái)看，多數(shù)新的蝕刻機(jī)都有預(yù)蝕，主蝕，補(bǔ)蝕等功能單元，主蝕壓力獨(dú)立控制等。傳送滾輪規(guī)避噴嘴藥水直射方向等。機(jī)器管道密封性能良好，控制系統(tǒng)比較先進(jìn)，例如裝備著名的藥水系統(tǒng)控制商AQUA 公司的控制器，能夠通過預(yù)投藥及先進(jìn)的PID 比例-積分-微分控制器，比較穩(wěn)定的控制藥水的濃度， 比重等各個(gè)因素，預(yù)投料功能即可與GENESIS 系統(tǒng)直接關(guān)聯(lián)也可用類似與制作電流指示一樣輸入殘銅率，有效減少多投等問題，同時(shí)提高藥水利用率及穩(wěn)定性。當(dāng)然設(shè)備異常昂貴，單控制器就要8-9 萬(wàn)USD, 設(shè)備投資成本太高。我們著力于通過自身的改造以達(dá)到我們節(jié)能減排清潔生產(chǎn)的目的。從補(bǔ)償系統(tǒng)，管道系統(tǒng)，溢流系統(tǒng)等做比較深入分析。
　　3.缸體結(jié)構(gòu)剖析
　　解讀酸性蝕刻缸是一件比較復(fù)雜的事情，其中東西比較多，有點(diǎn)辯證唯物主義的意味，主要是因?yàn)檫@三個(gè)缸的關(guān)系即有保持聯(lián)通又不能流量過大，核心在于保持一個(gè)濃度差及變化量，酸性蝕刻機(jī)蝕刻線分為三個(gè)缸，三個(gè)缸在底部有三個(gè)連通口，藥水可以在液位不平衡時(shí)自由流動(dòng)，如下圖灰色部分F3-2, F2-1。

　　4.大致的具體結(jié)構(gòu)及生產(chǎn)過程如下：
　　板件依次進(jìn)入第一，二，三缸后進(jìn)入補(bǔ)蝕段， 生產(chǎn)過程在第一個(gè)缸到第二個(gè)缸之間大量反應(yīng)，后經(jīng)過過濾循環(huán)后回到第二，三個(gè)缸，三個(gè)缸的流動(dòng)按照目前的三級(jí)水洗的原理進(jìn)行逐級(jí)溢流到第一個(gè)缸。藥水在這一過程不斷添加，在充分混合一二個(gè)缸充分混合補(bǔ)充該區(qū)域大量消耗。
　　過濾泵開啟后從第1 個(gè)缸抽取藥液，之后回流到第2，3 缸,使第3 缸通過下部的連接口流到第1 缸中去，目前僅開回流到第三缸的閥門，即
　　第一個(gè)缸的液位平衡，主要是從二缸過來(lái)的F2-1 和氧化劑補(bǔ)充B1。
　　連通口１的流量F2-1 + B1= 過濾F 進(jìn)-----------------------------（1）
　　第二個(gè)缸的液位平衡，主要是從三缸過來(lái)的F3-2 ，鹽酸補(bǔ)充，過濾出口，減去溢流：
　　連通口2 的流量F3-2 + 鹽酸補(bǔ)充H+ 過濾出口Ｆ出1- 溢流Ｌ= F2-1-----------------（2）
　　第三個(gè)缸的液位平衡，
　　1) 過濾出口Ｆ出2+ 氧化劑補(bǔ)充Ｂ2 = F3-2--------------------------------------（3）
　　溢流Ｌ的量等于補(bǔ)充的量：
　　溢流Ｌ=氧化劑補(bǔ)充B2 + 氧化劑補(bǔ)充B1+鹽酸補(bǔ)充H--------------------------------（4）
　　要實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償蝕刻的回流不進(jìn)入第一二個(gè)缸體，從而使F2-1=F 進(jìn)流動(dòng)不減弱，回流正常，需要關(guān)閉一二缸的閥門。

　　5.其他蝕刻線分析參考
　　某公司最新生產(chǎn)線的設(shè)計(jì)特點(diǎn)為：
　　補(bǔ)充情況為：二廠蝕刻線三種補(bǔ)充液加上蝕刻液一起混合入真空混合器，在泵出來(lái)進(jìn)入第一二個(gè)缸的前部。這樣也是避開線路形成期波動(dòng)的問題，減銅線為氧化劑，HCL 獨(dú)立添加在主蝕刻缸前部。循環(huán)系統(tǒng)為：第一個(gè)缸流向第二個(gè)缸再經(jīng)過混合及過濾。后進(jìn)入第一個(gè)缸。溢流系統(tǒng)在：兩者都是主蝕刻缸溢流在前部。

　　三. 結(jié)構(gòu)分析對(duì)應(yīng)的可嘗試改造的方向：
　　1．目前的過濾系統(tǒng)是從第一缸抽出后過濾雜物后進(jìn)入第二三個(gè)缸，主要在于第一個(gè)缸反應(yīng)最激烈，雜物最多（可參考下圖四），所以進(jìn)行過濾。過濾后進(jìn)入后面的第二，三個(gè)缸, 使后面的藥水，逐漸往前流，這樣后面的缸，始終是第三缸比第二缸清潔，第二缸又比第一缸清潔，這樣就能有效地減少銅點(diǎn)，短路等等問題。
　　嘗試改造：強(qiáng)化液位作用，保證類似三級(jí)水洗作用，目前過濾后進(jìn)入第二三個(gè)缸，后續(xù)可以結(jié)合補(bǔ)充系統(tǒng)的設(shè)計(jì)試驗(yàn)全部進(jìn)入第三個(gè)缸中。這樣可以有效提高第三個(gè)缸的流動(dòng)F3-2。
　　2．目前的溢流系統(tǒng)在第二缸，這樣的主要是離鹽酸補(bǔ)充Ｈ很近，同時(shí)部分Ｆ出１新過濾的藥水進(jìn)入二缸的部分被排掉也很浪費(fèi)。
　　若改在第三個(gè)缸過濾后的藥水整體比較干凈，溢流掉會(huì)比較可惜，也起不到廢液排掉減少雜質(zhì)的作用。

　　從上圖看，第一個(gè)缸積累的雜物最多，主要膠狀物質(zhì)，該物質(zhì)對(duì)質(zhì)量影響很大，超過一定的量時(shí)，對(duì)于銅點(diǎn)，短路不良上升直接相關(guān)。
　　表一，各缸銅離子濃度的情況：
　　第一缸 第二缸 第三缸
　�。茫�2+（g／l）  141  140  135
　　銅離子濃度對(duì)比其他兩個(gè)缸累積多，對(duì)于比重穩(wěn)定性有直接關(guān)系， 對(duì)于藥缸我們需要保持蝕刻掉的銅與溢出的銅平衡，才能做穩(wěn)定控制線寬等。
　　嘗試改造：根據(jù)溢流的原理和實(shí)際的反應(yīng)原理，第一個(gè)缸的藥水，反應(yīng)有效物質(zhì)最少，生產(chǎn)物多，雜物等在蝕刻第一個(gè)缸溢出最好，比重穩(wěn)定性也好，溢出位置位于最前端。

表三，各補(bǔ)充管道設(shè)計(jì)位置
　　HCl 鹽酸 氧化劑
　　計(jì)劃位置 Ｆ３－2 連通附近 Ｆ出2／或第一缸噴淋后回流
　　附近

　　3．目前的藥水補(bǔ)充系統(tǒng)是鹽酸補(bǔ)充進(jìn)入第二個(gè)缸中，氧化劑進(jìn)入第一，三個(gè)缸中，有意分開補(bǔ)充的原因在于兩種藥水會(huì)反應(yīng)，耗損掉生成氯氣等。藥水補(bǔ)充體系添加落在三個(gè)缸中，鹽酸落在第二個(gè)缸，一個(gè)氧化劑落在第一個(gè)缸，這樣的補(bǔ)充符合：
　　第一缸反應(yīng)負(fù)載〉第二缸反應(yīng)負(fù)載〉第三缸反應(yīng)負(fù)載
　　同時(shí)第三缸主要是形成線路期，所以不太適合于加入大量的新鮮的ＨＣＬ補(bǔ)充藥液，這樣補(bǔ)充前后造成的線路波動(dòng)可能很大。
　　嘗試改造：補(bǔ)充管道位置進(jìn)行細(xì)化。保證管口距離50cm 以上的原則，根據(jù)以下比重：
　　表二，各補(bǔ)充物質(zhì)比重
　　HCl 補(bǔ)充劑 氧化劑補(bǔ)充劑 蝕刻液
　　比重（g／ml）  1.10-1.15  1.15-1.21 / 26  1.285
　　制定補(bǔ)充的深淺位置，以提高有效循環(huán)。鹽酸，深埋入水面。氧化劑半埋在水下�？紤]到可能造成的虹吸現(xiàn)象，埋入水面管道都采用單向閥。
　　另根據(jù)出口閥門，將補(bǔ)充管道安置：
　　如過濾出口邊緣，連通口附近。這些位置由本身動(dòng)力促使其循環(huán)。
　　最終補(bǔ)充計(jì)劃在：