簡述酸性蝕刻常識
來源：龍人計(jì)算機(jī)研究所 作者：站長 時間：2009-10-23 14:09:48
酸性蝕刻液的主要成份：CuCL2.2H2O, HCl,NaCl,NH4Cl,H2O
酸性氯化銅蝕刻過程的主要化學(xué)反應(yīng)在蝕刻過程中，氯銅中的Cu2+具有氧化性，能將板氧化成Cu1+ ,其反應(yīng)如下：
蝕刻反應(yīng)：Cu+CuCl2->Cu2Cl2
形成的Cu2Cl2是不易溶于水的在有過量的Cl-存在下，能形成可溶性的絡(luò)合離子，其反應(yīng)如下：
絡(luò)合反應(yīng)： Cu2Cl2 +4Cl- ->2[CuCl3]2-
隨著銅的蝕刻，溶液中的Cl1+越來越多，蝕刻能力很快就會下降，直到最后失去效能。為保持蝕刻能力，可以過溶液再生的方式將Cu1+重新生成CU2+.�？棠芰�.
蝕刻液的再生：
再生的原理主要是利用氧化劑將溶液中的Cu1+ 氧化成Cu2+。
再生方法一般有以下幾種。
1） 通氧氣或壓縮空氣再生：主要的再生反應(yīng)為：2Cu2Cl2+4HCl+O2 ->4CuCl2+2H2O
但此方法再生反應(yīng)速率很低。
2）氯氣再生：主要的再生反應(yīng)為：Cu2Cl2+Cl2 ->2CuCl2由于氯氣是強(qiáng)氧化劑，直接通
氯氣是再生的最好方法。因?yàn)樗某杀镜停偕俾士�。但是，很難做到使氯氣全部都參加反應(yīng)，如有氯氣溢出，會污染環(huán)境。故該法要求蝕刻設(shè)備密封。
3）電解再生：主要的再生反應(yīng)為：在直流電的作用下，在陽極：Cu1+ ->Cu2+ +e
在陰極：Cu1+ +e->Cu0這種方法的優(yōu)點(diǎn)是可以直接回收多余的銅，同時又使Cu1+氧
化成Cu2+，使蝕刻液得到再生。但是此方法的再生設(shè)備投入較大且要消耗較多的電能。
htyue2905網(wǎng)友補(bǔ)充：
現(xiàn)在的酸性蝕刻有兩種：雙氧水系統(tǒng)和 氯酸鈉系統(tǒng)，二者的區(qū)別在于是由那種物質(zhì)充當(dāng)氧化劑。
前者是氧，后者是氯。所以在控制上有一定區(qū)別。
酸性氯化銅蝕刻過程的主要化學(xué)反應(yīng)在蝕刻過程中，氯銅中的Cu2+具有氧化性，能將板氧化成Cu1+ ,其反應(yīng)如下：
蝕刻反應(yīng)：Cu+CuCl2->Cu2Cl2
形成的Cu2Cl2是不易溶于水的在有過量的Cl-存在下，能形成可溶性的絡(luò)合離子，其反應(yīng)如下：
絡(luò)合反應(yīng)： Cu2Cl2 +4Cl- ->2[CuCl3]2-
隨著銅的蝕刻，溶液中的Cl1+越來越多，蝕刻能力很快就會下降，直到最后失去效能。為保持蝕刻能力，可以過溶液再生的方式將Cu1+重新生成CU2+.�？棠芰�.
蝕刻液的再生：
再生的原理主要是利用氧化劑將溶液中的Cu1+ 氧化成Cu2+。
再生方法一般有以下幾種。
1） 通氧氣或壓縮空氣再生：主要的再生反應(yīng)為：2Cu2Cl2+4HCl+O2 ->4CuCl2+2H2O
但此方法再生反應(yīng)速率很低。
2）氯氣再生：主要的再生反應(yīng)為：Cu2Cl2+Cl2 ->2CuCl2由于氯氣是強(qiáng)氧化劑，直接通
氯氣是再生的最好方法。因?yàn)樗某杀镜停偕俾士�。但是，很難做到使氯氣全部都參加反應(yīng)，如有氯氣溢出，會污染環(huán)境。故該法要求蝕刻設(shè)備密封。
3）電解再生：主要的再生反應(yīng)為：在直流電的作用下，在陽極：Cu1+ ->Cu2+ +e
在陰極：Cu1+ +e->Cu0這種方法的優(yōu)點(diǎn)是可以直接回收多余的銅，同時又使Cu1+氧
化成Cu2+，使蝕刻液得到再生。但是此方法的再生設(shè)備投入較大且要消耗較多的電能。
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現(xiàn)在的酸性蝕刻有兩種：雙氧水系統(tǒng)和 氯酸鈉系統(tǒng)，二者的區(qū)別在于是由那種物質(zhì)充當(dāng)氧化劑。
前者是氧，后者是氯。所以在控制上有一定區(qū)別。
